Grafite ricoperta in SiC (PERMA KOTE)

 

Con la rapida crescita di dispositivi a semi-conduttore a densita' sempre piu' elevata, e' cresciuto il fabbisogno di una grafite sempre piu' pura, in modo da ridurre l'emissione di gas sulla superficie in carbone e  l'ammontare di polvere ed impurita'. Ottenuto tramite la deposizione di una pellicola superficiale in SiC (carburo di silicio) utilizzando  il processo  CVD (Chemical Vapour Deposition), il materiale PERMA KOTE e' molto impiegato nell'industria per la produzione dei semi-conduttori.

 

*Suscettore tipo Pancake

I suscettori sono utilizzati in processi che formano la pellicola epitassiale sui wafer per semi-conduttori. Indipendentemente dal tipo (a forma pancake o barrel) e' richiesto un rivestimento in SiC.

 

*Suscettore tipo Barrel

PERMA KOTE e' un prodotto in grafite rivestito con Carburo di Silicio altamente purificato, con una elevata resistenza alla temperatura e alla corrosione.

 

Rivestimenti in grafite pirolitica (PYROGRAPH)

 

Il PYROGRAPH e' un prodotto di elevata purezza sul quale viene depositato del carbone pirolitico utilizzando un nostro originale processo CVD. Ha l'effetto di ridurre la permeabilita' al gas e di prevenire le reazioni; pertanto viene spesso impiegato in componenti per dispositivi analitici o per parti di reattori ad alta temperatura.

 

CARATTERISTICHE:

 

* Molto fine ed a densita' elevata

* Alta resistenza all'ossidazione

* Alta resistenza chimica

* Capacita' di ridurre la dispersione di gas a livelli minimi

 

APPLICAZIONI:

 

* Tubi a reazione impermeabili al gas

* Suscettori, schede e jig per semi-conduttori

* Tubi per assorbimento atomico e spettroscopia

* Crogioli per la fusione dei metalli

 

GLASTIX KOTE:

 

GLASTIX KOTE e' un substrato in grafite impregnato o rivestito in carbone vetroso. Ha l'effetto di prevenire la polvere e migliorare la durezza superficiale;  viene pertanto ampiamente impiegato nell'industria dei semi-conduttori e nei settori metallurgici.

 

CARATTERISTICHE:

 

I substrati impregnati o rivestiti di carbone vetroso hanno queste caratteristiche.

* Maggiore resistenza superficiale.

* Ridotta reazione con i gas

* Alta purezza

* Riduzione della generazione di polvere di carbone

 

APPLICAZIONI

 

* Materiali relativi ai semi-conduttori

* Prestazione migliore, vita piu' lunga e migliore efficienza quando utilizzato in jigs di tenuta o in dispositivi CZ

* Materiali per la colata continua

* Lingotti di vita maggiore e miglior qualita' se utilizzato per la colata continua del rame o altro

* Varie applicazioni comprendenti i suscettori per MOCVD, vassoi di riscaldamento per la fabbricazione di pannelli LCD, supporti per bracieri per la ceramica

 

 

 

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